mikrosystemtechnik wikipedia - EAS
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See all on Wikipediahttps://de.wikipedia.org/wiki/MikrosystemtechnikDie Mikrosystemtechnik (MST, engl. micro systems technology), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische … See more
Wikipedia text under CC-BY-SA license- https://de.wikipedia.org/wiki/Mikrosystem_(Technik)
Ein Mikrosystem ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 Mikrometer haben und als System zusammenwirken.
Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip. Dabei b…Wikipedia · Text under CC-BY-SA license- Estimated Reading Time: 7 mins
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WebMikrosystemtechnik by Ulrich Mescheder, 2004, Springer Vieweg. in Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH edition, in German / Deutsch
